高純石墨制品的化學(xué)純化，是基于金屬鹵素化合物，都是低沸點化合物這一事實。如四氯化硅在56.8度沸騰，二氯化鐵在319度沸騰，而氟利昂-12等鹵素及其化合物，又能滲透進(jìn)石墨制品與石墨中的雜質(zhì)反應(yīng)，生成金屬鹵素化合物，揮發(fā)出來，使石墨制品中雜質(zhì)含量下降。這一技術(shù)早為人知，用于生產(chǎn)分析用光譜純級石墨電極，但光譜純級石墨電極直徑很小，一般在10mm以下。如需大規(guī)格高純石墨，需要在工業(yè)規(guī)模的設(shè)備中進(jìn)行。
通常的純化氣體為氯氣和氟利昂。當(dāng)石墨化溫度達(dá)到1000度以上時，即可通入氯氣，在2000度時再換通氟利昂氣體。工業(yè)上為降低費用，改在1800度時，先通氮氣，排除爐芯的揮發(fā)氣體，到1950度時通入氯氣，在350度時再通入氟利昂氣體，為防止含雜質(zhì)的氣體反滲回石墨，停電冷卻時，還要保持通氣數(shù)小時，最后再同入氮氣，以排除石墨氣孔中的殘余氣體。
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